微纳米MOS器件可靠性与失效机理

序

前言

第1章 VLSI发展与可靠性研究进展

1.1 VLSI的发展规律

1.2 VLSI的主要可靠性问题

1.3 VLSI的可靠性研究现状

1.3.1 微纳MOS器件的热载流子效应

1.3.2 微纳MOS器件的NBTI效应

1.3.3 SOI器件的可靠性问题

1.3.4 超薄栅氧化层介质的可靠性

1.3.5 静电损伤和闩锁效应

1.3.6 ULSI中铜互连可靠性相关技术

1.3.7 非挥发性存储器的可靠性

1.3.8 等离子体工艺的可靠性

1.3.9 封装与装配可靠性

1.3.10 微电子机械系统和化合物半导体可靠性

1.3.11 VLSI失效分析技术

1.3.12 VLSI可靠性仿真技术

参考文献

第2章 微纳米MOS器件的热载流子效应

2.1 MOS器件的热载流子效应

2.2 微纳MOS器件的热载流子效应

2.3 动态应力下MOS器件的热载流子效应

2.4 热载流子效应的测量和表征技术

2.4.1 电流-电压特性测试

2.4.2 电荷泵测试

2.4.3 衬底热载流子效应测试

2.5 nMOS器件的衬底电流和沟道电流分布建模

2.5.1 幸运热载流子模型

2.5.2 沟道电流和衬底电流的二维分布建模

2.5.3 沟道电流和衬底电流二维分布模型的计算与比较

2.6 nMOS器件的栅电流分布建模

2.6.1发射电流和栅电流分布模型

2.6.2 nMOS器件的电子栅电流分布建模

2.6.3 nMOS器件的空穴栅电流分布建模

2.6.4 模型涉及参量的修正与选择

2.6.5 发射电流和栅电流的分布特性

2.7 nMOS器件的高温热载流子退化

2.7.1 nMOS器件的高温热载流子退化

2.7.2 pMOS器件的高温热载流子退化

2.7.3 标准0.18umCMOS工艺的高温可靠性测试标准

2.8 超深亚微米LDD MOS器件模型

2.8.1 LDD nMOS器件的本征电流、电压特性模型

2.8.2 LDD nMOS器件的源漏串联电阻模型

2.8.3 亚阈区模型

2.8.4 模拟结果与分析

参考文献

第3章 MOS器件的热载流子损伤特性及物理模型

3.1 pMOS器件损伤电子栅电流模型的建立及验证

3.1.1 电子栅电流模型的建立

3.1.2 电子栅电流模型的验证

3.2 模型揭示的器件损伤特性

3.2.1 陷入电子电荷分布特性

3.2.2 损伤电子栅电流分布特性

3.2.3 应力期间电子栅电流的拐角特性

3.3 建立器件寿命物理模型的必要性

3.4 界面态产生动力学模型新解

3.5 pMOS线性区器件损伤与寿命的物理模型

3.5.1 线性区漏源电流表征的器件损伤与寿命

3.5.2 线性区跨导表征的器件损伤与寿命

3.6 pMOS饱和区器件损伤与寿命的物理模型

3.6.1 饱和区漏源电流表征的器件损伤与寿命

3.6.2 饱和区跨导表征的器件损伤与寿命

3.7 注入电荷总量表征的pMOS器件寿命物理模型

3.8 热载流子效应诱生的nMOS器件损伤

……

第4章 超薄栅氧化层的经时击穿效应

第5章 微纳米MOS器件的NBTI效应

第6章 微纳米MOS器件的耦合效应

第7章 等离子体工艺及诱生的器件失效

第8章 CMOS器件的ESD与损伤机理

第9章 ULSI中铜互连可靠性相关技术

第10章 微纳米MOS器件的可靠性加固方法

第11章 VLSI可靠性评价与估计

《微纳米MOS器件可靠性与失效机理》主要介绍了微纳米MOS器件的失效机理与可靠性理论，目的是在微电子器件可靠性理论和微电子器件的设计与应用之间建立联系，阐述微纳米MOS器件的主要可靠性问题和系统的解决方法。全书论述了超大规模集成电路的可靠性研究现状，提出超大规模集成电路面临的主要可靠性问题；描述了微纳米MOS器件的主要失效机理和可靠性问题，以及上述各种失效机制的可靠性加固方法等，也是作者十余年在该领域从事的科学研究和国内外相关研究的部分总结。
《微纳米MOS器件可靠性与失效机理》可作为微电子专业高年级本科生以及研究生的教学参考书，对从事微纳米MOS器件可靠性和集成电路设计与研究的科学家和工程师也有重要参考价值，信息领域等其他专业的科技人员也可从《微纳米MOS器件可靠性与失效机理》中了解微电子可靠性技术的进展和一般的分析方法。