微电子制造原理与工艺

微电子制造原理与工艺

张威, 主编

出版社:哈尔滨工业大学出版社

年代:2020

定价:44.0

书籍简介:

本书首先介绍微电子制造的技术背景、工艺现状以及发展趋势,并阐述作为半导体衬底材料——单晶硅的生长方法及晶圆的制造工艺;然后从基本原理和工艺过程两方面,阐述热氧化、热扩散、离子注入、光刻、刻蚀、蒸发、溅射、化学气相淀积、外延等微电子制造单项工艺过程;再以CMOS器件为例,介绍制造完整器件并实现集成电路中各器件间隔离和互连的关键工艺技术以及工艺集成的具体步骤;最后简单介绍工艺监控及电学测试方法。本书适合作为普通高等学校电子封装技术、电子科学与技术、微电子技术等专业的本科生和研究生的专业课教材,也可以作为微电子制造领域及相关专业工程技术人员的参考书。

书籍规格:

书籍详细信息
书名微电子制造原理与工艺站内查询相似图书
丛书名材料科学研究与工程技术系列
9787560390567
如需购买下载《微电子制造原理与工艺》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息,请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN
出版地哈尔滨出版单位哈尔滨工业大学出版社
版次1版印次1
定价(元)44.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数 2000

书籍信息归属:

微电子制造原理与工艺是哈尔滨工业大学出版社于2020.9出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子技术-高等学校-教材 的书籍。