MEMS传感器技术

书籍简介:

本书结合国内外物联网发展的历史、现状和未来趋势以及传感器的基本原理和类型，对新兴的MEMS传感器技术进行了系统的介绍。全书共7章，内容包括物联网的起源、形成、基本构成及应用前景，传感器的基本原理、类型和应用范围，MEMS传感器和MEMS智能传感器的概念、加工工艺、分类、产业化方向以及若干常见的应用案例等。本书内容宽泛，可作为物联网行业从业人员以及MEMS传感器市场分析研究人员的入门参考书，也可供在校学生以及对物联网和传感器感兴趣的人员参考。

书籍规格:

书籍信息归属:

MEMS传感器技术是吉林大学出版社于2015.8出版的中图分类号为 TP212 的主题关于 微电子技术－传感器－研究 的书籍。