微纳米加工技术及其应用

第1章绪论

第2章光学曝光技术

第3章电子束曝光技术

第4章聚焦离子束加工技术

第5章扫描探针加工技术

第6章复制技术

第7章沉积法图形转移技术

第8章刻蚀法图形转移技术

第9章简介纳米加工技术

第10章自组装纳米加工技术

第11章微纳米加工技术的应用

索引

结束语

　　本书是在第一版的基础上修订而成的。本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、等。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项。本书内容丰富，讲解深入浅出，具有很强的可读性和实用性。　　本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。　　与国内外同类出版物相比，本书的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍，并加以比较；首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型，突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展，并列举了大量参考文献与互联网链接网址，供读者进一步发掘详细信息与深人研究，因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。【作者简介】　　东南大学(原南京工学院)本科毕业(1981)，并获该校硕士(1984)和博士(1988)学位。11989年受英国国家科学与工程研究委员会访问研究基金资助(SERCVisitingFellowship)，到英国剑桥大学微电子研究中心做博士后研究。1993年到英国卢瑟福国家实验室微结构中心做高级研究员，1999年以来任微纳米技术首席科学家(PrincipalScientist)，曾任微系统技术中心负责人，现负责微纳米技术的工程应用(GroupLeader)。十多年来先后参加了8项欧洲共同体联合研究项目，并担任其中两个项目的主持人。任欧洲微机电／微光机电设计、测试、集成与封装年会的程序委员会委员，国际微纳光刻、微机电与微光机电系统杂志(JournalofMicro／Nanolithography，MEMSandMOEMS)编委，欧洲第七框架研究计划纳米技术分计划的评审专家，英国国家科研项目评审专家，并应邀为多种学术杂志评审论文；英国物理学会会员，英国工程技术学会(IET)资深会员(Fellow)。1994年以来开始与国内开展合作，先后受聘为国内多家科研单位与大学的客座研究员、客座教授。先后4次受王宽诚科研奖金资助回国进行合作研究与讲学。2001年以来，先后主持了两项由英国皇家学会资助的中一英联合研究项目。2002年受聘为中国科学院海外评审专家。2004年获中国科学院海外杰出学者(B类)基金。2007年参加中国科学院物理研究所纳米电子材料与器件海外合作团队。先后独立与合作发表学术论文190余篇。2005年出版中文专著《微纳米加工技术及其应用》(高等教育出版社)，2006年出版该书的英文版《Micro-NanofabricationTechnologiesandApplications》，2008年出版英文专著《Nanofabrication：Principles，CapabilitiesandLimits》(Springer)。