李惠军, 编著
出版社：山东大学出版社
年代：2007
定价：30.0
本书分八章介绍了现代集成电路及制造工艺原理。
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现代集成电路制造工艺原理是山东大学出版社于2007.02出版的中图分类号为 TN405 的主题关于 集成电路工艺 的书籍。
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