薄膜光学与真空镀膜技术

上篇

第1章 绪论

1.1 薄膜光学概述

1.2 电磁理论基础

第2章 光学薄膜特性计算

2.1 递推法

2.2 矢量法

2.3 矩阵法

2.4 非均匀介质膜特性计算

第3章 光学薄膜的普遍定理

3.1 透射定理

3.2 普遍等效定理

3.3 对称膜等效定理

3.4 周期性多层膜理论

3.5 诱导透射定理

第4章 膜系设计方法

4.1 图解法

4.2 解析法

4.3 自动设计法

4.4 其他设计法

第5章 常用膜系分析与设计

5.1 减反射膜（增透膜）

5.2 反射膜

5.3 分光膜

5.4 截止滤光片

5.5 带通滤光片

5.6 光波斜入射对膜系的影响

5.7 光学薄膜设计范例

第6章 光学薄膜应用举例

6.1 光学薄膜在导引头半实物仿真系统中的应用

6.2 光学薄膜在眼镜行业中的应用

6.3 截止滤光片的应用

6.4 带通滤光片的应用

下篇

概述

第7章 真空镀膜设备

7.1 真空基础知识

7.2 真空的获得

7.3 真空的测量与检漏

第8章 真空薄膜沉积技术

8.1 热蒸发镀膜技术

8.2 溅射镀膜技术

8.3 离子镀膜技术

8.4 膜厚的监控

8.5 获得均匀膜层的方法

第9章 物理气相沉积薄膜的结构与特性

9.1 薄膜形成与微观结构

9.2 薄膜特性

9.3 镀膜工艺对薄膜性能的影响

第10章 光学薄膜的性能测试

10.1 光学常数的测试

10.2 光学性能的测试

10.3 机械性能的测试

10.4 其他性能的测试

第11章 常用光学薄膜材料

11.1 金属薄膜

11.2 介质薄膜

11.3 特殊材料

附录

附录1光学零件镀膜分类、符号及标注

附录2光学薄膜元件环境适应性试验方法

附录3光学和光学仪器光学薄膜

附录4ISO9211-1：2010

附录5ISO9211-2：2010

附录6ISO9211-3：2008（E）

附录7ISO9211-4：2006（E）

术语索引

参考文献

《“十二五”国家重点图书·航空航天精品系列：薄膜光学与真空镀膜技术》比较全面地介绍了光学薄膜的理论基础与真空制备工艺，内容包括光学薄膜的波动理论基础、膜系特性计算与设计方法、常用膜系 （减反射膜系、反射膜系、截止滤光片与带通滤光片）的性能特点、薄膜在真空状态下的物理气相沉积技术、物理气相沉积薄膜的结构与特点、光学薄膜的性能测试方法等。