出版社：机械工业出版社
年代：2012
定价：69.0
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 微机电系统基础站内查询相似图书 | ||
| 丛书名 | 电子与电气工程丛书 | ||
| 9787111406570 如需购买下载《微机电系统基础》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 机械工业出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 69.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 26 × 19 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 562 | 印数 | 4000 |