纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究

纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究

赵晓锋, 著

出版社:黑龙江大学出版社

年代:2009

定价:28.0

书籍简介:

本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFET压/磁多功能传感器,在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测,从基本结构设计、工作原理、特性分析等方面进行论述,研究不同条件对传感器特性的影响,实现压力、磁传感器的集成一体化研究。

书籍规格:

书籍详细信息
书名纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究站内查询相似图书
丛书名黑龙江大学学术文库
9787811291261
《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》pdf扫描版电子书已有网友提供下载资源链接
出版地哈尔滨出版单位黑龙江大学出版社
版次1版印次1
定价(元)28.0语种简体中文
尺寸20装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究是黑龙江大学出版社于2009.07出版的中图分类号为 TP212 的主题关于 压力传感器-研究 ,磁性传感器-研究 的书籍。