硅基高k氧化物锶硅界面缓冲层的研究

硅基高k氧化物锶硅界面缓冲层的研究

杜文汉, 著

出版社:江苏大学出版社

年代:2018

定价:39.0

书籍简介:

Sr/Si界面在晶形高介电常数(k)氧化物-半导体体系的外延生长中具有重要的作用, 是形成外延高k氧化物必不可少的缓冲界面层。本书深入研究了不同Sr/Si再构表面的几何及电子结构,并探讨相关的物理机制。

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9787568410304
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出版地镇江出版单位江苏大学出版社
版次1版印次1
定价(元)39.0语种简体中文
尺寸21 × 15装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

硅基高k氧化物锶硅界面缓冲层的研究是江苏大学出版社于2018.12出版的中图分类号为 O48 的主题关于 固体物理学-研究 的书籍。