MEMS系统级建模

书籍简介:

本书是目前国内外唯一叙述微机电系统（MEMS）系统级建模的专著。MEMS技术的发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切的需求，以便优化包括MEMS元件、控制、读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求，本书分5部分全面论述了MEMS系统级建模技术。

书籍规格:

书籍信息归属:

MEMS系统级建模是东南大学出版社于2017.7出版的中图分类号为 TH-39 的主题关于 微机电系统－系统建模 的书籍。