氧化钽薄膜制备与激光诱导损伤特性研究

氧化钽薄膜制备与激光诱导损伤特性研究

许程, 著

出版社:哈尔滨工业大学出版社

年代:2015

定价:38.0

书籍简介:

本书分别对氧化钽薄膜沉积工艺、后处理、添加层等对薄膜性能的影响进行研究;探索双离子束溅射法制备氧化钽薄膜,并重点研究了后处理工艺对于抗激光损伤性能的影响;构建了原位高温激光损伤阈值测试,研究了较为前沿的温度对于激光损伤的影响;开发了一种采用新型前驱体制备高激光损伤阈值氧化钽薄膜的溶胶凝胶技术。

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书籍详细信息
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9787560357911
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出版地哈尔滨出版单位哈尔滨工业大学出版社
版次1版印次1
定价(元)38.0语种简体中文
尺寸18 × 23装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

氧化钽薄膜制备与激光诱导损伤特性研究是哈尔滨工业大学出版社于2016.3出版的中图分类号为 TQ59 的主题关于 氧化钽-薄膜-激光损伤-研究 的书籍。