出版社：东南大学出版社
年代：2014
定价：198.0
微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | MEMS材料与工艺手册站内查询相似图书 | ||
| 9787564140533 如需购买下载《MEMS材料与工艺手册》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 南京 | 出版单位 | 东南大学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 198.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 24 × 17 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | ||
MEMS材料与工艺手册是东南大学出版社于2014.3出版的中图分类号为 TN4-62 的主题关于 微电子技术－电子材料－手册 ,微电子技术－生产工艺－手册 的书籍。