组合设备的调度及其优化控制

书籍简介:

本书以组合设备的调度及其优化控制为核心，系统阐述了不同约束条件下的组合设备建模、调度及优化控制问题。全书内容包括：半导体芯片的制造过程，晶圆驻留时间约束调度；作业时间波动调度；晶圆重入加工调度；暂态过程优化控制；PM故障响应调度；组合设备群调度；参数化虚拟组合设备。本书是笔者及笔者所在的相关团队关于组合设备建模、调度与控制问题所做工作的总结，主要读者对象为半导体晶圆制造相关的大学高年级本科生、研究生、工程技术和科研人员。

书籍规格:

书籍信息归属:

组合设备的调度及其优化控制是中南大学出版社于2019.11出版的中图分类号为 TN305 的主题关于 半导体工艺设备－调度－研究 ,半导体工艺设备－控制－研究 的书籍。