氮氟共掺DLC薄膜的制备、结构及性能研究

氮氟共掺DLC薄膜的制备、结构及性能研究

肖剑荣, 著

出版社:原子能出版社

年代:2010

定价:28.0

书籍简介:

本书从DLC薄膜概述、a-C:F:H薄膜的研究进展、氮氟共掺DLC薄膜的制备方法与表征技术、氮氟共掺DLC薄膜的生长及生长机理探讨、氮氟共掺DLC薄膜的应用设计、氮氟共掺DLC薄膜的性能研究、氮氟共掺DLC薄膜的结构研究等几个方面对氮氟共掺DLC薄膜的制备、结构及性能进行了研究探讨,全书结构严谨,条理分明,是一本值得学习借鉴的学术著作。

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书籍详细信息
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9787502250935
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出版地北京出版单位原子能出版社
版次1版印次1
定价(元)28.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

氮氟共掺DLC薄膜的制备、结构及性能研究是原子能出版社于2010.10出版的中图分类号为 TB43 的主题关于 氮-薄膜技术-研究 ,氟-薄膜技术-研究 的书籍。