射频等离子体物理学

针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特...

2015.9

大气压气体放电及其等离子体应用

大气压气体放电及等离子体技术和应用方面的研究受到国内外广泛关注。从2010-2012年中国科学院电工研究所连...

2015.9

光学厚等离子体光谱诊断技术

对于光学厚等离子体,需要研究不透明度对谱线的影响,从而为精确等离子体诊断技术提供理论基础。本著作根据...

2015.9

微波诱导等离子体原子光谱分析

微波诱导等离子体(MWP)原子光谱是近十年发展起来的一种很有前途的实验室分析工具。本书全面综合了MWP近期...

2015.6

等离激元学

等离子激元是现代光学理论、新材料和纳米技术高度交叉的学科领域,对于信息技术的发展具有重要的意义,且此...

2014.12

表面等离激元纳米光子学

该书涉及物理、电子信息和光学等,等离子激元纳米光子学是现代光学理论、新材料和纳米技术高度交叉的学科领...

2014.12