本书主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法,包括蒸发...
1994.01
本书较全面地介绍了有关薄膜材料制备技术的基础知识,总结了近年来薄膜材料制备领域的新进展,并融入了编著...
2008.