本书共分15章，论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域；论述RF MEMS器件的静态、动态和电...
2005.12
本书介绍超声波电机基础，振动方向变换型超声波电机，进行波型超声波电机，对称型超声波电机，超声波直线电...
2005.02
本书介绍微机电系统（MEMS）设计与制造等。
2005.10
本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基...
2005.09
本书是有关超声波电机原理与设计的专著，是以东南大学“超声波电机及其控制技术研究”课题组近十多年来科学研...
2005.05