微机械光子学

光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐...

MEMS设计模拟与仿真系统应用

MEMS广泛应用于国防行业中的微机电系统、舵机系统、传感器系统、制导系统等。

微系统和纳米技术

微机电系统技术基础

本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系...