MEMS技术及应用

本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺...

2018.8

超声波电机控制技术

本书是作者课题组近年研究工作的总结,阐述了超声波电机控制技术及具体装置的设计与实现方法,反映了超声波...

2018.11

超声电机最优频率跟踪控制技术与应用

本书针对超声电机工作过程中温升较为严重这一问题,提出了最优频率跟踪控制技术,以压电陶瓷材料损耗特性分...

2018.4

超声电机驱动精密运动平台关键技术

本书围绕提升精密运动平台性能指标问题,分别提出了超声电机驱动旋转型和直线型两种精密运动平台,系统阐述...

2018.4