本书是微电子教材。
2007.09
本书是美国麻省理工学院（MIT）Senturia教授根据自己在MIT电子工程系所讲授课程的基础上进行扩展而编写的研...
2004.10
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和...
2013.1
本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS（微电机）设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为...
2009.7
本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使...
2009.04
本书阐述了微机电系统的基础知识，还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。
2008.01
本书介绍了微系统设计，微制造，微系统检测等。
2005.02
本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技...
2004.03
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和...
2011.9
本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于...
2009.11