本书为高等工程院校“微装配与微操作技术”课教材，对微装配与微操作技术有关的基本理论和方法作了较全面系统...
2004.
本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺...
2018.8
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的...
2017.1
本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用，包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的...
2007.06
本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著，分为两部分，第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方式；第...
2009.02
本书共分15章，论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域；论述RF MEMS器件的静态、动态和电...
2005.12
本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展...
2008.07
本书介绍超声波电机基础，振动方向变换型超声波电机，进行波型超声波电机，对称型超声波电机，超声波直线电...
2005.02
本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术，然后从共性技术、典型应用...
2019.10
本教材系统介绍微机电系统的基本知识、微机电系统的组成、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统...
2019.1