本书是作者课题组近年研究工作的总结，阐述了超声波电机控制技术及具体装置的设计与实现方法，反映了超声波...
2018.11
本书针对超声电机工作过程中温升较为严重这一问题，提出了最优频率跟踪控制技术，以压电陶瓷材料损耗特性分...
2018.4
本书围绕提升精密运动平台性能指标问题，分别提出了超声电机驱动旋转型和直线型两种精密运动平台，系统阐述...
2018.4
作者在本书中首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做...
2017.1
第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。...
2016.6
本书系统地介绍了微特电机的关键设计原理，涵盖了目前国际、国内常用的微特电机运行原理和设计方法等内容。...
2015.7
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研...
2015.6
本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念和发展现状及趋势、力学相关知识；重点...
2015.1
本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应...
2014.7
本书通过统一的方法和闭合解析法解决微机电问题中的微机电系统原理。首先对宏观和微观世界的基础无量纲参数...
2014.4