微机械光子学

光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐...

MEMS设计模拟与仿真系统应用

MEMS广泛应用于国防行业中的微机电系统、舵机系统、传感器系统、制导系统等。

微系统和纳米技术

微机电系统技术基础

本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系...

微装配与微操作

本书介绍微机电系统（MEMS）设计与制造等。

微机电系统设计与制造

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基...

超声波电机原理与设计

本书是有关超声波电机原理与设计的专著，是以东南大学“超声波电机及其控制技术研究”课题组近十多年来科学研...

微传感器、微机电系统和灵巧器件

微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系...