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中图号TM38-39
2007年
2007
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基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用
本书介绍了应用COMSOL Multiphysics有限软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以MEMS典型建模实例内容及...
2007.07
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