半导体薄膜技术与物理

本书介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相...

2009.03

光电材料及光波导探测器的设计与研制

本书介绍了半导体材料Ge、Si的晶体结构及其工艺方法,阐述了GeSi异质结及超晶格的特性,分析计算了Ge、Si异...

2003.04

基于氧化镓的超宽禁带半导体薄膜生长与表征

本书主要研究了新一带超宽禁带半导体材料—氧化镓的基本性质;全书从氧化镓的基本性质与国内外研究现状入手...

2020.1

半导体薄膜技术基础

本书主要内容包括:(1)初步掌握半导体薄膜器件的基本工艺,特别是与集成电路器件工艺过程相关知识。(2)...

2018.2

半导体薄膜技术与物理

“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材,浙江大学材料科学与技术丛书。本科生教学用书,介绍半导体薄膜的...

2014.9

二氧化钛光催化薄膜

本书简要介绍了二氧化钛薄膜光催化技术发展过程,阐述了二氧化钛光催化反应原理、光催化薄膜制备方法,详细...

2011.7