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2009.08
本书系统介绍了半导体硅材料的基本性质、与半导体晶体材料相关的晶体几何学、微电子学方面的基础理论知识。
2009.07
本书主要介绍了半导体材料常规电学参数的物理测量方法、检测晶体缺陷的化学腐蚀法等。
本书内容包括多晶硅原料制备、原料提纯、多晶硅制备、尾气回收等。
2009.06