衍射极限附近的光刻工艺

本书将对光刻从设备、材料和工艺以及工艺仿真作一个全面的展示。尤其将针对临近衍射极限的光刻技术,比如19...

2019.12

集成电路与光刻机

光刻机是集成电路制造的核心装备,直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程...

2020.8

激光等离子体极紫外光刻光源

本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状,并系统阐述激光等离子体光源的相关理论...

2018.12

超大规模集成电路先进光刻理论与应用

光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中,正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以...

2016.5