集成电路芯片制造工艺技术

本书主要讲述集成电路芯片制造工艺技术,主要有十三章。内容包括芯片制造工艺概述、氧化技术、扩散技术、光...

2011.5

集成电路芯片制造实用技术

本书主要包括硅晶圆制程,氧化工艺,光刻工艺等方面的知识。

2011.8

微纳尺度制造工程

本书是《微电子制造科学原理与工程技术》的第三版。本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了...

2011.5