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2015年
2015
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氧化钽薄膜制备与激光诱导损伤特性研究
本书分别对氧化钽薄膜沉积工艺、后处理、添加层等对薄膜性能的影响进行研究；探索双离子束溅射法制备氧化钽...
2016.3
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