半导体制造与过程控制基础

本书主要介绍了电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程方法。

2009.01

半导体制造工艺基础

本书是有关半导体制造各工艺步骤。

2007.4

半导体制造工艺基础

本书主要介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术,具体包括硅的氧化、光刻、刻蚀、扩散、...

2019.7

半导体制造工艺控制理论

稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计...

2018.4

半导体复杂制造系统管理

全书共分4篇12章,第一篇为绪论,包括第1-3章,分别介绍半导体制造工艺、特性分析、国内外研究综述。第二篇...

2015.7