薄膜技术与薄膜材料

本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。

2011.12

薄膜材料的制备及应用

本书包括以下主要内容:导论;薄膜制备的物理方法;第一章薄膜制备的化学方法;第二章薄膜技术应用;第三章...

2011.12