气体的吸附及薄膜材料的应用

本书共8章,内容包括变压吸附制氧概述、真空变压吸附制氧原理与流程、薄膜生长、薄膜结构和组份、薄膜表面...

2016.12

现代薄膜材料与技术

本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成,系统介绍了现代薄膜技术中涉及到的真...

2016.8