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2010
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氮氟共掺DLC薄膜的制备、结构及性能研究

本书从DLC薄膜概述、a-C:F:H薄膜的研究进展、氮氟共掺DLC薄膜的制备方法与表征技术、氮氟共掺DLC薄膜的生长...

2010.10

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