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硅基材料－纳米材料－应用－微机电系统
2018年
2018
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硅MEMS工艺与设备基础
本书主要围绕硅基MEMS加工技术中涉及的体硅工艺清洗、光刻、氧化扩散、刻蚀、键合、检测封装。全书共十章：...
2018.12
按中图号分类
中图号G634
20037
中图号G624
11545
中图号I287.8
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3445
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中图号G634.413
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1464
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1335
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中图号G624.243
1193
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