几何量传感与测量应用技术

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2011.5

纳米尺度几何量和机械量测量技术

本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量,纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量,纳米尺度线高测量,纳米尺度节距、...

2012.6

平台测量法解析500例

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2009.12