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RF MEMS
本书共分15章，论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域；论述RF MEMS器件的静态、动态和电...
2005.12
微装配与微操作
本书介绍微机电系统（MEMS）设计与制造等。
2005.10
按中图号分类
中图号G634
13487
中图号G624
4516
中图号I247.5
2900
中图号Z121.5
2345
中图号G634.413
1613
中图号H31
1330
中图号I267
1267
中图号J222.7
1107
中图号TP312
900
中图号TP391.41
879
中图号I227
813
中图号TP3
810
中图号I25
720
中图号G634.303
717
中图号F270
691
中图号G624.203
658
中图号G613
632
中图号G634.415
601
中图号H319.4
557
中图号H319.9
539
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