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MEMS技术及应用
本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺...
2018.8
按中图号分类
中图号G634
20037
中图号G624
11545
中图号I287.8
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1552
中图号G634.413
1522
中图号G898.2
1464
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1433
中图号G624.203
1428
中图号G624.313
1342
中图号I712.85
1335
中图号G634.303
1209
中图号G624.243
1193
中图号G613.7
1187
按出版社分类
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