本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和...
2013.1
本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使...
2009.04
本书介绍了微系统设计，微制造，微系统检测等。
2005.02
本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技...
2004.03
本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺...
2018.8
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的...
2017.1
本书共分15章，论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域；论述RF MEMS器件的静态、动态和电...
2005.12
本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术，然后从共性技术、典型应用...
2019.10
第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。...
2016.6
本书系统地介绍了微特电机的关键设计原理，涵盖了目前国际、国内常用的微特电机运行原理和设计方法等内容。...
2015.7