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微机电系统设计与制造
本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基...
2005.09
按中图号分类
中图号G634
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4516
中图号I247.5
2900
中图号Z121.5
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