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微机电系统技术基础
本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系...
2006.
按中图号分类
中图号G634
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中图号G624
5180
中图号I247.5
2821
中图号G634.413
1386
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中图号G634.415
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