微机电系统概论

本教材系统介绍微机电系统的基本知识、微机电系统的组成、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统...

2019.1

MEMS与微系统

作者在本书中首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾,然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做...

2017.1

微机电系统(MEMS)工艺基础与应用

本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念和发展现状及趋势、力学相关知识;重点...

2015.1

微特电机及系统

本书共十一章,主要内容包括伺服电动机与伺服系统、测速发电机、步进电动机、自整角机、旋转变压器、永磁无...

2014.1

微机电系统机械学

本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下...

2012.

微机电系统技术基础

本书系统地介绍了有关微机电系统的知识,主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系...

2006.

微机电系统设计与制造

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书,介绍微机电系统(MEMS)设计与制造,包括集成电路(IC)基...

2005.09