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微电机－加工
2009年
2009
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微机电系统设计与加工
本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于...
2009.11
按中图号分类
中图号G634
21086
中图号G624
8335
中图号I247.5
5106
中图号G613
2987
中图号I267
2304
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中图号H125.4
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中图号I25
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中图号G613.6
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按出版社分类
内蒙古人民出版社
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