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微电机－系统
2008年
2008
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微机电系统与微细加工技术
本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展...
2008.07
按中图号分类
中图号G634
20388
中图号G624
8976
中图号I247.5
4368
中图号G613
1905
中图号I267
1638
中图号H31
1534
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1394
中图号G634.413
1251
中图号TP391.41
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1060
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769
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742
中图号G634.415
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