微纳系统技术与应用

本书除了对微纳系统技术的基础理论和方法的讲述之外,还深入探讨了这一领域内一些热点研究方向的最新科研成...

2011.9

光子微系统

本书共分15章,内容循序渐进,深入浅出,在书写形式上是一本教科书。第1~4章介绍光学及电磁场基础知识,第...

2011.6

微机电系统

本书共分为六章,分别介绍MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系...

2011.3