本书介绍了半导体基本原理、集成电路制作中的重要问题等。
2005.02
本书介绍了目前微电子技术与光电子技术的发展，重点介绍了微电子与光电子集成技术中的多种器件及其制备技术...
2007.11
本书介绍了硅微加工技术中应用的各种方法微型结构的铸模等。
2006.08
本书介绍了微电子器件衬底材料性能、加工工艺与测试技术。全书共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外...
2004.09
本书详细介绍了微电子技术的原理与各种应用系统的设计与实现原理。
2008.05
本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法，如单品硅生产、光削技术、封装技术等。
2003.07
本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。
2009.04
本书系统地介绍了微电子机械系统尺寸效应理论及其应用。
2009.01
本书是由国家自然科学基金委员会支持的科普丛书中的一本。全书包括8章，分别为：从敏感、灵巧到材料；磁现...
2007.04
结合微电子专业人才培养目标，突出学生的创新创业能力和实践能力的培养，充分体现专业特点，在创新创业课程...
2020.5