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2003.05
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2018.12
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2018.7
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2014.10
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2011.9
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2011.6
本书共分为六章,分别介绍MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系...
2011.3
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2008.06
本书系统介绍了微电子材料与器件制备技术前沿问题与进展。主要包括材料的分类及性能、微电子器件材料的选择...
2008.04
本书主要介绍了微电子技术的基本知识及制造过程。
2008.01