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2006
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微电子机械系统

本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。

2006.01

微传感器　微电子机械系统与智能器件

本书主要内容为电子材料与加工技术、标准微电子工艺、微传感器等。

2007.01

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