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微电子技术－惯性元件－研究
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MEMS惯性器件典型结构失效模式
对可靠性的研究是MEMS惯性器件发展中的一项瓶颈技术，本书对MEMS惯性器件的典型结构进行了系统的失效模式与...
2012.5
按中图号分类
中图号G634
34677
中图号G624
18445
中图号I247.5
5816
中图号G613
5283
中图号I267
3365
中图号I227
2687
中图号J222.7
2149
中图号G634.413
1915
中图号G613.3
1760
中图号G624.753
1630
中图号G624.203
1628
中图号G613.2
1583
中图号H31
1573
中图号G624.243
1520
中图号G898.2
1411
中图号B848.4-49
1208
中图号G634.303
1207
中图号J228.2
1202
中图号G634.415
1171
中图号I287.8
1169
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