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微电子技术－机械加工－基本知识
2009年
2009
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微电子机械加工系统（MEMS）技术基础
本书介绍微电子机械加工（MEMS）技术基础，详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及...
2009.03
按中图号分类
中图号G634
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8335
中图号I247.5
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