纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究

本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFET压/磁多功能...

2009.07